FFU（Fan Filter Unit）是風(fēng)機(jī)和過濾器的組合，也可稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級(jí)的（HEPA）或超（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部過濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡(jiǎn)便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。

FFU的特點(diǎn)

1、靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)的調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來(lái)二次投資。

2、可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來(lái)，密封好，留待下次使用。

3、負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)內(nèi)，使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。

4、縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)箱的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益，選用FFU成為了一種可能。

5、減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但在它后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。用大循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。