FFU（Fan Filter Unit）是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的（HEPA）或超（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部過濾器的阻力，還要克服整個循環風所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。FFU系統具有設計施工簡便，風速調節靈活，潔凈區易于變更等特點，因此已成為工業潔凈室的流行系統形式之一。

FFU的特點

1、靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應的調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

2、可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，留待下次使用。

3、負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區內，使得密封變得很簡單而且安全。

4、縮短建設周期。使用FFU省掉了風箱的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

5、減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但在它后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。用大循環減少40%的運行成本。